г.Екатеринбург, ул.Бебеля, д.17, оф.518
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсИНН 6658255545, КПП 665801001, р/с 40702810608140000034
в ОАО “РГС Банк”, к/с 30101810600000000972, БИК 046577972
арактеристика\Модель | Тип загрузки | Область загрузки (диаметр, мм) | Технология | Осаждение материала |
Advanced Vacuum Vision 310 PECVD | Открытая/ Бокс | 305 | PECVD | SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
Advanced Vacuum Vision 410 PECVD | Открытая | 406 | PECVD | SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
Advanced Vacuum Apex SLR HDPCVD | Шлюз | 200 | HDPCVD | Низкотемпературное осаждение SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
Plasma-Therm Versaline PECVD | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | PECVD | SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
Plasma-Therm Versaline HDPCVD | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | HDPCVD | Низкотемпературное осаждение SiO2, SixNy, SiOxNy, SiC, a-Si |
Plasma-Therm LAPECVD | Кассетная | Под заказ | PECVD | SiO2, SixNy, |