г.Екатеринбург, ул.Бебеля, д.17, оф.518
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсИНН 6658255545, КПП 665801001, р/с 40702810608140000034
в ОАО “РГС Банк”, к/с 30101810600000000972, БИК 046577972
Vision 420 RIE компании Advanced Vacuum — это компактная, надежная, экономически эффективная и простая в эксплуатации и обслуживании установка плазмохимического и реактивного ионного травления для R&D-лабораторий, мелкосерийных, пилотных и серийных производств.
Установка Vision 420 RIE позволяет травить следующие виды материалов:
Размер электрода | 16″ (406 мм) в диаметре |
Температура электрода | Определяется типом процесса. Используется чиллер. Стандартно +20...25 °С, доступны другие варианты. |
Материал электрода | Алюминий |
Тип плазмы | Емкостная |
ВЧ генератор | 600 Вт, 13,56 МГц. Опционально 1200 Вт, 13,56 МГц |
Вакуумная камера | Изготовлена из цельного блока алюминия. |
Откачная система | Форвакуумный насос 80 м3/ч, сухой безмасляный Турбомолекулярный насос 300 л/с Возможна установка других насосов по ТЗ заказчика |
Уровень вакуума | <10-6 торр |
Контроль давления процесса | Автоматический |
Газовые линии с цифровыми РРГ | 4 линии (стандартно). Опционально до 8 линий |
Система контроля, ПО | Cortex на базе Windows 7 |
Электропитание | 380 В, 50 Гц, 3 фазы |
Габариты установки (Ш×Г×В) | 667×1146×1880 мм |
Сертификация | CE, SEMI-2, S8 |
Удаленный мониторинг состояния системы | SECS/GEM |
Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления