Автоматическая установка нанесения, проявления и сушки фоторезиста MRS-AC-ST

Автоматическая установка MRS-AC-ST позволяет проводить в автоматическом режиме нанесение различных фоторезистов, их проявление и сушку на подложках размером 60 х 48 мм, 2” – 8”. Загрузка образцов в установку производится из кассеты при помощи центрального робота.

Преимущества автоматической установки MRS-AC-ST:

автоматическая кассетная загрузка;
высокая производительность и повторяемость процесса;
исключение влияния оператора на технологический процесс;
малые габариты и простота обслуживания узлов установки;
простой интерфейс управления по рецептам.

Модуль нанесения (количество 1 – 6 шт.)	Размер образца	60 х 48 мм или 2” – 8”
	Скорость вращения	50 – 6000 об./мин.
	Точность поддержания скорости вращения	±1 об./мин. (при >100 об./мин.)
	Реагент	Фоторезист разных типов
	Удаление краевого валика	Есть
	Отмывка с обратной стороны	Есть
Модуль проявления (количество 1 – 6 шт.)	Размер образца	60 х 48 мм или 2” – 8”
	Скорость вращения	50 – 4500 об./мин.
	Точность поддержания скорости вращения	±1 об./мин. (при >100 об./мин.)
	Реагент	Проявитель / деионизованная вода / хим. реактив
	Отмывка с обратной стороны	Есть
Термоплита (количество 1 – 10 шт.)	Температурный режим	От комнатной температуры до 150°C стандартно, либо диапазон под заказ
Термоплита (количество 1 – 10 шт.)	Способ нагрева	Контакт, микрозазор
Охлаждающая поверхность (количество 1 – 10 шт.)	Температурный режим	20 … 25°C±0,5°C
Перенос образцов	Робот	Одна или две руки
Перенос образцов	Перегрузка из кассеты в кассету	Загрузка и выгрузка
Система управления	Конфигурация	ПК и ПЛК
	Интерфейс	Сенсорный экран
	Работа по рецептам	Есть