Малогабаритные установки для лабораторий и пилотных производств Thermco Systems

Серия 2×10 — лабораторные настольные печи с ручной загрузкой, предназначенные для обработки партий до 50 пластин диаметром до 200 мм. В этом варианте две печи, установленные одна на другую, могут опционально комплектоваться общей станцией загрузки пластин.

Серия 2×60 — напольные печи, предназначенные для обработки партий до 50 пластин диаметром до 200 мм. Имеют более широкие технологические возможности, чем установки серии 2×10, а также опционально могут оснащаться встроенным газовым шкафом и автоматическим загрузчиком. Могут быть сконфигурированы в варианте двух рабочих труб, установленных одна на другую.

Серии 2x00 и 2x50 — среднегабаритные напольные печи, предназначенные для обработки партий до 50 пластин диаметром до 200 мм. Количество рабочих труб — до четырех. Печи серии 2000 представляют собой отдельно стоящие установки со встроенным газовым кабинетом. Загрузка пластин может производиться как в ручном, так и в автоматическом режиме с использованием разных типов загрузчиков. Опционально печи могут оснащаться автоматической загрузочной станцией.