г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсГлавная / Технологическое оборудование для микроэлектроники / Плазменные процессы / Оборудование для плазменной очистки и активации поверхности Diener Electronic / Опции и справочная информация
Опции и справочная информация
Сравнительная таблица различных типов генераторов
| Тип генератора | |||
| 40/80/100 кГц | 13,56 МГц | 2,45 ГГц | |
| Примеры применения |
|
|
|
| Низкая стоимость | +++ | + | ++ |
| Надежность | +++ | ++ | + |
| Однородность плазмы | +++ | ++ | + |
| Использование вращающегося металлического барабана | +++ | +++ | + |
| Скорость травления | + | +++ | +++ |
| Простота ремонта | +++ | + | +++ |
Примечание. +++ — наилучший показатель
Сравнительная таблица различных типов управления
| Ручное | Автоматическое (ПЛК) | Автоматическое (ПК) |
| Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются вручную нажатием кнопок на передней панели. Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление также задаются вручную. | Включение насоса, подача газа, поджиг плазмы и продувка камеры осуществляются автоматически после нажатия кнопки «Старт». Параметры процесса: время, мощность генератора, поток газа, давление задаются вручную при помощи ПЛК. | Все действия и процессы управляются с сенсорного экрана ПК. Возможно создание и запись рецептов. Программное обеспечение позволяет вести статистику процессов. На экране в реальном времени отображаются графики изменения всех параметров текущего процесса. |
Различные опции и оснастка для установок плазменной обработки
| Лотки и загрузочные устройства |
|
| Подача газа |
|
| Насосы |
|
| Датчики давления |
|
| Комплекты ЗИП |
|
| Аксессуары |
|