Ориентаторы, перегрузчики, ламинаторы SPS-Europe

Ориентаторы пластин. 
Ориентаторы используются для выравнивания пластин по базовому срезу или выемке перед загрузкой в кассету. Ориентаторы исполняются как в ручном, так и в автоматическом вариантах.

Перегрузчики пластин. 
Перегрузчики применяются для горизонтального перемещения пластин диаметром от 100 до 200 мм из кассеты в кассету (например, после ориентации по базовому срезу). Антистатическое исполнение по стандарту ESD позволяет использовать перегрузчики в чистых помещениях, вплоть до класса чистоты ISO3. Также существуют автоматические системы, которые одновременно с перегрузкой проводят ориентирование пластин по базовому срезу или выемке.

Оборудование для работы с лентой-носителем. 
Аппликаторы используются для наклейки подложек и фиксирующих рамок на ленту-носитель. Конструкция устройства позволяет наносить ленту без пузырей в один проход. При заказе системы конфигурируются под заданный тип фиксирующей рамки. Аппликатор оснащен ножом для удобного отрезания лишней ленты по периметру рамки. Электрические аппликаторы имеют три автоматических режима работы: медленный, быстрый и мгновенный.

Совместно с аппликаторами применяются устройства для снятия ленты-носителя. Главное преимущество таких устройств — существенное уменьшение механического напряжения в подложке, возникающего при отклеивании ленты.

Для уменьшения адгезии лент перед снятием чипов используются машины УФ-засветки. Специальная УФ-чувствительная лента после засветки перестает быть липкой, что позволяет легко снимать разрезанные чипы даже при автоматической сортировке или монтаже.