Главная / Технологическое оборудование для микроэлектроники / Термические процессы / Быстрый термический отжиг / Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического отжига UniTemp серии RTP и VPO

Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического ...

арактеристика/Модель RTP 100 RTP 100-HV RTP 150 RTP 150-HV VPO 1000-300
Рабочая область, мм 100×100×10 100×100×10 156×156×40 156×156×40 300×300×50 (300×300×100)
Максимальная температура, °С +1200 +1200 +1000 +1000 +1000
Скорость нагрева, K/с 150 150 75 75 40
Способ загрузки фронтальная фронтальная фронтальная фронтальная вертикальная
Мощность нагревателей, кВт 18 18 21 21 36
Габариты, мм/Вес, кг 505×504×420/55 505×504×580/65 505×504×420/75 505×504×580/80 505×504×680/