Термоплиты HT150S/200S

Термоплиты HT150S/200S производства компании APT (Германия) предназначены для равномерного нагрева подложки до заданной температуры. Типичными применениями являются: сушка задубливание фоторезиста. Рабочий диапазон температур термоплиты: +50...230 °С, точность поддержания температуры:+/-1 °С, равномерность температуры по поверхности: +/-0.5°С .

Стандартная конфигурация термоплит HT150S/200S подходит для работы с подложками диаметром до 150/200 мм соответственно. Большие размеры термоплит и специальные температурные диапазоны доступны по требованию заказчика. Возможна конфигурация с несколькими зонами нагрева, например, для одновременной обработки двух подложек.

В качестве основных опций предлагаются подъемные пины и защитная крышка.

Технические характеристики