Установка конвейерной сушки Aurel A206

Установка конвейерной сушки Aurel A206, сочетающая в себе технологию конвекционной и ИК-сушки, предназначена для следующих процессов:

• сушка фоторезиста в тонкопленочной технологии (например, для поликоровых подложек 60х48 мм);
• сушка толстопленочных паст (удаление органических растворителей из пасты после ее нанесения);
• сушка полимерных паст, адгезивов и т.п.

Использование технологии комбинированного нагрева (50% ИК — 50% конвекции) значительно улучшает качественные характеристики нанесённых слоев. Так, например, при чисто конвекционной сушке сначала высыхает верхний слой покрытия, формируя пленку, через которую растворителю труднее проникнуть в верхний слой. В результате растворители частично остаются внутри материала, что приводит к образованию трещин или пузырей на поверхности материала. В случае комбинации конвекционного и инфракрасного нагрева подложек, ИК-излучение проникает в материал и сушит его изнутри наружу, что позволяет значительно улучшить качество проводимого процесса.

Установка имеет конвейер в виде сетчатой ленты из нержавеющей стали. Также имеется возможность использования пальчикового конвейера для двухсторонних подложек. Муфель установки выполнен из нержавеющей стали, нагрев происходит с использованием керамических панелей. Установка оборудована системой Venturi с регулируемым потоком для отвода отработанных газов, а также газовыми жалюзи на входе и выходе.