Установка RSS 160 имеет рабочую нагреваемую область 160×160 мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную. Максимальная температура процесса — до +400 С. Максимальная скорость нагрева — до 100 К/мин. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде, включая водород и пары муравьиной кислоты. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера.
Технические характеристики установки RSS 160
| Рабочая зона | 160×160 мм |
| Высота камеры | 40 мм, опционально до 80 мм |
| Материал камеры | Алюминий |
| Смотровое окно | Диаметр 80 мм |
| Максимальная температура процесса | +400 °С |
| Скорость нагрева | До 100 K/мин |
| Уровень вакуума | Опционально до 10-3 мбар |
| Тип нагревателя | Резистивный (общая мощность 2,4 кВт) |
| Температурный контроллер | Встроенный |
| Используемые газы | Азот, кислород, водород, форминг-газ, пары муравьиной кислоты В базовой комплектации один ротаметр, второй опционально |
| Количество программ/шагов | 1/16, опционально 20/100 |
| Электропитание | 220 В |
| Размер установки (Ш×Д×В) | 240×150×200 мм (камера), 220×125×220 мм (контроллер) |
| Вес печи | 9 кг (камера), 2,5 кг (контроллер) |
Опции:
- Дополнительная газовая линия с ротаметром (всего до 2 шт.)
- Модуль подачи муравьиной кислоты
- Оснастка для работы с чистым водородом
- Дополнительная термопара
- Расширение температурного диапазона до +450 С
- Контроллер с 20 программами (100 шагов в каждой)
- Увеличение высоты камеры до 80 мм
- Различные вакуумные насосы
- Чиллер
- Специальные опции под заказ