г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факс
Установки серии Femto предназначены для плазмохимической обработки образцов малых и средних размеров в R&D-лабораториях и на опытных производствах. В бюджетных малогабаритных установках можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию идеально подходящую под конкретное применение.
В отличие от серий Zepto и Atto, установки Femto могут быть оснащены камерой из нержавеющей стали или алюминия, дверцей на петлях, барабаном для обработки сыпучих материалов, электродом для реактивно-ионного травления и микроволновым генератором плазмы с частотой 2,45 ГГц. Основным преимуществом установок серии Femto является большое количество вариантов конфигурации при относительно низкой стоимости и малых габаритах.
Камера |
|
Объем камеры | 1,9–6 л |
Газовая система | Игольчатые клапаны с ротаметрами или цифровые РРГ |
Генератор плазмы |
|
Электрод |
|
Управление |
|
Датчик давления |
|
Загрузка образцов |
|
Вакуумный насос | Различные варианты под требования заказчика |
Габариты (Ш×В×Г) | 345×220×420 мм Доступны различные варианты корпусов |
Сравнительная таблица основных характеристик установок плазменной обработки Diener Electronic.