Установки серии Pico предназначены для плазмохимической обработки образцов средних размеров в R&D-лабораториях и на опытных производствах. В бюджетных малогабаритных установках можно проводить все основные виды плазменной обработки при минимальных затратах. Различные варианты материалов камеры и типов генераторов позволяют получить конфигурацию идеально подходящую под конкретное применение.
По сравнению с Femto серия Pico имеет увеличенный объем камеры (до 15 л) и может быть изготовлена в напольном варианте корпуса с возможностью установки через стену чистого производственного помещения. Основным преимуществом установок серии Pico является большое количество вариантов конфигурации при относительно низкой стоимости и малых габаритах.
Типичные применения:
- Керамика 60×48 мм: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- Полупроводниковые пластины до 4″: очистка перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР;
- R&D и исследования.
Технические характеристики установок серии Pico
Камера |
- Круглая камера из нержавеющей стали с крышкой Ø150 мм, глубина 320 или 600 мм
- Прямоугольная камера из нержавеющей стали с дверцей 160×160 (В)×325 мм
- Круглая камера из алюминия с крышкой или дверцей Ø130 мм, глубина 300 или 600 мм
- Круглая камера из кварца с крышкой или дверцей Ø130 мм, глубина 300 или 600 мм
- Круглая камера из боросиликатного стекла с крышкой или дверцей Ø130 мм, глубина 300 или 600 мм
|
Объем камеры |
4–15 л |
Газовая система |
Игольчатые клапаны с ротаметрами или цифровые РРГ |
Генератор плазмы |
- 40/80/100 кГц: 100, 200, 500 и 1000 Вт
- 13,56 МГц: 50, 100 и 300 Вт
- 2,45 ГГц: 100 и 300 Вт
|
Электрод |
- Одно- или многоуровневый электрод
- РИТ-электрод
|
Управление |
- Ручное
- Автоматическое (сенсорный дисплей)
- Автоматическое (ПК)
|
Датчик давления |
- Пирани
- Баратрон (для работы с коррозионными газами и РИТ-травления)
|
Загрузка образцов |
- Поддон из алюминия
- Поддон из нержавеющей стали
- Поддон из боросиликатного стекла
- Поддон из кварца
- Водоохлаждаемый поддон
- Лодочка из кварца для групповой обработки пластин
- Барабан для порошков
- Барабан для объемных образцов
|
Вакуумный насос |
Различные варианты под требования заказчика |
Габариты (Ш×В×Г) |
- 550×330×500 мм
- Доступны различные варианты корпусов
|
Сравнительная таблица основных характеристик установок плазменной обработки Diener Electronic.