Установка совмещения/экспонирования AG500-4N-ST/AG500-6N-ST

Установки совмещения/экспонирования AG500-4N-ST и AG500-6N-ST являются надежным, гибким и бюджетным инструментом для решения полного спектра задач фотолитографии. Установки AG500-4N-ST/AG500-6N-ST предназначены для работы с пластинами диаметром до 100/150 мм соответственно, включая возможность работы с пластинами 60 х 48 мм. Установки могут исполняться как с ручным перемещением основных механизмов, так и в полностью моторизованном варианте для работы в полуавтоматическом или автоматическом режиме. Опционально установки оснащаются системами совмещения по обратной стороне: инфракрасной или оптической с использованием видеокамер.

Установки совмещения/экспонирования AG500-4N-ST/AG500-6N-ST имеют возможность работы в режиме Proximity Leveling Flag для максимально точного позиционирования пластины параллельно шаблону, в том числе, при печати с зазором. Кроме высоких показателей параллельности пластины шаблону данный режим позволяет для ряда применений в несколько раз увеличить срок службы фотошаблона, так как непосредственного контакта шаблона и пластины в режиме PLF не происходит. Наибольшие преимущества режим PLF имеет при работе с подложками 60 х 48 мм.

Технические характеристики

	AG500-4N-ST	AG500-6N-ST
Источник света	Ультрафиолетовая лампа или светодиодный источник UV-LED
Длина волны, нм	350 – 450
Мощность лампы, Вт	500
Время жизни лампы, ч	>1000
Интенсивность освещения, мВт/см²	≥30 (365) ≥50 (405)
Равномерность освещения, %	<±3
Диаметр эффективной освещаемой зоны, мм	>100	>150
Режимы экспонирования	Вакуумный контакт Жесткий контакт Мягкий контакт Микрозазор
Разрешение, мкм	Вакуумный контакт: ≤0,6 Жесткий/мягкий контакт: 1 – 2 Микрозазор: ≤5
Размер обрабатываемых подложек, мм	60x48, 50,75,100	60x48, 50, 75, 100, 150
Максимальный размер фотошаблона, мм²	До 127 х 127	До 178 х 178
Максимальный зазор, мкм	1000
Шаг выставления зазора, мкм	1
Система оптического совмещения	Двупольный видеомикроскоп
Совмещение по обратной стороне (опция)	ИК или оптическое с видеокамерами
Точность прямого совмещения, мкм	±1
Точность обратного совмещения (ИК или оптического), мкм (опция)	±2
Система управления	На базе ПЛК
Интерфейс	Сенсорный дисплей
Виброизоляция	Специальный виброизоляционный стол из нержавеющей стали на 4-х опорах
Габариты (ШхГхВ), мм	900 х 1200 х 1900