Установка совмещения и экспонирования OAI 200/ 200IR

Компактная недорогая настольная установка совмещения-экспонирования OAI Model 200 предназначена для решения большого количества задач фотолитографии R&D-лабораторий и мелкосерийных производств. Благодаря использованию современной технологии «воздушного подшипника» OAI Model 200 быстро и аккуратно поднимает и прижимает даже очень хрупкие подложки к фотошаблону без риска их повреждения. Конструкция системы совмещения позволяет позиционировать подложку с высокой точностью (1 мкм) и получать топологии с разрешением меньше 1 мкм.

Установка может быть оборудована модулем наноимпринтинга для быстрого прототипирования устройств микрофлюидики, а также модулем для ИК-совмещения по обратной стороне (модель 200IR). Опционально установка оснащается вибростолом. Типичные применения установки Model 200 — исследования и производство устройств МЭМС; многономенклатурное мелкосерийное производство.

Преимущества установок Model 200/ 200IR:

Малые габариты и низкая стоимость.
Минимальные повреждения подложек из хрупких материалов.
Высокоточное совмещение с точностью 1 мкм.
Простая и быстрая смена подложек и фотошаблонов.
Обратное инфракрасное совмещение с точностью 3–5 мкм (модель 200IR).
Высокая равномерность освещенности.
Возможность быстрого изменения длины волны излучения.
Высокая точность поддержания освещенности на заданном уровне.
Возможность оборудования системы модулем наноимпринтинга.

Технические характеристики установки OAI — Model 200/ 200IR

Максимальный размер подложки	Круглые — Ø150 мм Квадратные — 150×150 мм
Максимальный размер фотошаблона	178×178 мм
Разрешение	Вакуумный контакт — <1 мкм Жесткий контакт — 1 мкм Мягкий контакт — 1–2 мкм Зазор (15 мкм) — 3–6 мкм
Тип излучения	Ближний и глубокий УФ (выбирается по требованию заказчика)
Мощность лампы	200, 350, 500, 1000, 2000 Вт (БУФ) 500, 1000, 2000 Вт (ГУФ)
Равномерность освещения (6″×6″)	±5%
Интенсивность освещения (при 350 Вт)	8 мВт/см2 (при λ=365 нм) 15 мВт/см2 (при λ=405 нм)
Способ экспонирования	Мягкий контакт Жесткий контакт Вакуумный контакт Зазор
Способ совмещения	Микрометрические винты
Точность совмещения	1 мкм
Обратное совмещение	Инфракрасное (модель 200IR)
Точность обратного совмещения	3–5 мкм
Автоматическое поддержание интенсивности освещения на заданном уровне	Есть
Точность поддержания освещенности	±2%
Время экспозиции	0,1–99 с (при шаге 0,1) 1–999 с (при шаге 1)
Антивибрационный стол	Опция
Электропитание	220 В, 50 Гц, 20 А, 1фаза
Габариты (Ш×В×Г)	790×940×640 мм
Вес	70 кг