Установки корпусирования 2Z HVS 100/200

Установки герметизации UniTemp серии 2Z HVS предназначены для герметизации корпусов МЭМС, активации геттеров, термического разделения компонентов. Настольные компактные установки 2Z HVS прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установки герметизации 2Z HVS-100 и 2Z HVS-200 имеют по 6 рабочих зон 16 и 42 мм в диаметре соответственно. Оснастка для рабочих зон изготавливается под заказ по чертежам заказчика, в зависимости от типа используемого корпуса. Загрузка корпусов в рабочую камеру производится вручную при помощи автоматического устройства подъема крышки камеры. Максимальная температура процесса — до +450 °С. Нагрев осуществляется сверху и снизу за счет инфракрасных ламп. Максимальная скорость нагрева — до 20 К/мин. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление выполняется при помощи встроенного микроконтроллера.

Технические характеристики установок 2Z HVS 100/200

Рабочая зона	6×16 мм для 2ZHVS-100 6×х42 мм для 2ZHVS-200
Оснастка для герметизируемого корпуса	По чертежам заказчика
Максимальная температура процесса (верхняя/нижняя зона)	+450/+200 °С
Скорость нагрева	До 20 K/мин
Уровень вакуума	До 10-6 мбар (турбомолекулярный насос)
Смотровое окно	Опция
Температурный контроллер	Встроенный
Электропитание	3,2 кВт, 220 В для 2Z HVS-100 11 кВт, 220 В для 2Z HVS-200
Размер установки (Ш×Д×В)	200×500×470 мм для 2Z HVS-100 550×500×1060 мм для 2Z HVS-200
Вес печи	24 кг + насос для 2Z HVS-100 105 кг +насос для 2Z HVS-200

Опции

Дополнительная газовая линиия с ротаметром (всего до 4 шт.)
Дополнительная термопара
Смотровое окно
Чиллер
Специальные опции и оснастка под заказ

Сравнительная таблица основных характеристик установок оплавления припоя, термического отжига и герметизации UniTemp серии RSS, VSS и RSO