г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсУстановки магнетронного напыления SP-203/303/503 специально разработаны для мелко- и среднесерийных производств. Установки позволяют получать тонкие пленки широкого спектра металлов, диэлектриков и других материалов. Равномерность нанесения материалов типично составляет ≤3%. В зависимости от конфигурации источников, установки серии SP могут быть оснащены вакуумными камерами различного объема. Модификации SP-203/303/503 перекрывают весь спектр возможных конфигураций внутренней оснастки для работы с пластинами 60 х 48 мм и полупроводниковыми пластинами диаметром 2” – 6”. Компактный корпус машины может быть легко размещен в условиях недостатка площадей, конструкция корпуса позволяет разместить установку через стену ЧПП.
Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец диаметром до 3” или одну подложку 60 х 48 мм. Установка оснащается одним, двумя или тремя магнетронами по выбору заказчика и наиболее подходит для R&D задач.
Диаметр держателя подложек | До 350 мм, или специальный по ТЗ |
Размер подложек | 60 х 48 мм или 2” – 6” |
Размещение магнетронов | Вверх/вниз |
Количество/диаметр магнетронов | 1 – 5 шт. / 2” – 6” |
Тип блоков питания | DC или RF |
Нагрев образцов | Опционально до +800 °С |
Система откачки | Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос |
Предельное давление | 10-7 Торр |
Типичная скорость откачки камеры | 10-6 Торр за 30 мин. |
Контроль давления | Автоматический |
Скорость вращения подложки | 5 – 30 об./мин. |
Равномерность по толщине | ±3%, зависит от конфигурации |
Система управления | ПЛК/ПЛК+ПК |
Отслеживание толщины | По времени или с помощью кварцевого толщиномера |
Смотровое окно | Есть |
Сменные экраны для вакуумной камеры | Есть |
Опции | Система нагрева Система охлаждения Ионный источник для очистки или ассистирования Вакуумный шлюз Другие опции под заказ |