Главная / Технологическое оборудование для микроэлектроники / Дисковая резка / Установки отмывки после резки Neontech — серия NSD

Установки отмывки после резки Neontech — серия NSD

ec4facd498af8aff770f69acd6db2b3e

Установки серии NSD предназначены для автоматической отмывки подложек после резки. Установки позволяют вращать подложку со скоростью до 2000 об/мин и использовать при этом следующие технологические операции: обдувку газом (воздух или азот); отмывку деионизованной водой под давлением; промывку водой; отмывку щеткой (опционально). Управление установками осуществляется при помощи сенсорного экрана. Различные модели установок предназначены для работы с соответствующими рамками для резки.

Основные технические характеристики установок серии NSD

Размер используемой рамки* до 12″
Скорость вращения  0–2000 об/мин
Рабочие сопла
  • Форсунка с ДИ водой высокого давления
  • Форсунка с ДИ водой или щетка  
 
Система управления  ПЛК с сенсорным экраном
Габариты*  650х1100х1250 мм

Примечание * — в зависимости от модели установки.