Фотолитография

Фотолитография — это процесс формирования рисунка в слое фоточувствительного резиста с последующим переносом рисунка на подложку. Целью данной технологической операции является формирование упорядоченных двумерных и трехмерных структур на поверхности подложки.

• Отмывка и операции с фоторезистом
• Совмещение и экспонирование
• Безмасковая литография