г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсГлавная / Технологическое оборудование для микроэлектроники / Фотолитография / Отмывка и операции с фоторезистом
Отмывка и операции с фоторезистом
- Центрифуги Spin 150i/200i и Polos 200 Advanced
- Система ультразвукового спрей - нанесения фоторезиста Exacta Coat
- Термоплиты HT150S/200S
- Система автоматической подачи рабочего вещества PTFE Dispense Vessel
- Автоматическая установка нанесения, проявления и сушки фоторезиста MRS-AC-ST
- Системы подачи рабочего вещества
- Автоматическая установка Spin process station
- Системы мегазвуковой отмывки
- Держатели пластин, ванны и нагреватели для жидкой химии