Установка быстрого термического отжига VPO 1000-300

Установки UniTemp серии VPO предназначены для быстрой высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и плоских подложек большого размера. Настольные компактные установки VPO прекрасно подходят как для R&D-применений, так и для пилотного и мелкосерийного производства.

Установка VPO 1000-300 позволяет работать с образцами до 300 мм в диаметре. Рабочая нагреваемая область: 300×300мм. Загрузка подложек в рабочую камеру производится вручную при помощи автоматического подъемного механизма крышки камеры. Максимальная температура процесса — до +1000 С. Максимальная скорость нагрева — до 75 К/с. Возможно проведение процессов в вакууме и газовой среде. Управление осуществляется при помощи встроенного микроконтроллера с сенсорным экраном.

Технические характеристики установки VPO 1000-300

Максимальный размер подложки	Диаметр 300 мм (12″) , рабочая область 300×300 мм
Материал камеры	Кварцевое стекло (водоохлаждаемая камера)
Высота камеры	50 мм, опционально до 100 мм
Система загрузки подложек	Поддон из кварцевого стекла Опциональный держатель из пирографита или графита, покрытого SiC
Уровень вакуума	До 10-3 мбар
Максимальная температура процесса	До +1000 °С
Тип нагревателя	ИК-лампы (общая мощность 36 кВт)
Зоны нагрева	Верхняя и нижняя (программируемые)
Скорость нагрева	До 40 K/с
Скорость охлаждения	От +1000 до +400 °С: 200 К/мин от +400 до +100 °С: 30 К/мин подложка охлаждается азотом
Температурный контроллер	Встроенный
Используемые газы	Азот, кислород, форминг-газ В базовой комплектации один ротаметр с цифровым дисплеем 5 slm
Электропитание	3×32 А, 380 В, 3 фазы
Размер установки (Ш×Д×В)	505×504×680 мм (настольное размещение)
Вес печи	100 кг

Опции

Дополнительные газовые линии с ротаметром или РРГ (всего до 3 шт.)
Держатели подложек из кварца, пирографита, графита, покрытого SiC
Дополнительная термопара
Увеличение высоты камеры до 100 мм
Различные вакуумные насосы
Чиллер
Дополнительная рабочая камера
Исполнение камеры из нержавеющей стали
Специальные опции под заказ

Сравнительная таблица основных характеристик установок быстрого термического отжига UniTemp серии RTP и VPO