г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсНастольная бюджетная малогабаритная установка совмещения-экспонирования Mikasa M-1S с полностью ручным управлением идеально подойдет для университетов и R&D-лабораторий. Простая в эксплуатации и обслуживании установка позволяет работать с образцами диаметром до 75 мм и получать топологии с разрешением порядка 4 мкм.
Преимущества установки M-1S:
Максимальный диаметр подложки | 75 мм |
Максимальная толщина подложки | 2 мм |
Максимальный размер фотошаблона | 102×102 мм |
Освещенность | >8 мВт/см2 (при λ=405 нм) |
Равномерность освещения | <±8,5% |
Мощность лампы | 250 Вт |
Тип лампы | Ртутная |
Время экспозиции | 0–999 с |
Метод экспонирования | Мягкий контакт (опционально жесткий контакт) |
Точность совмещения | 3,7 мкм |
Разрешение | 4 мкм |
Антивибрационный стол | Опция |
Габариты (Ш×В×Г) | 800×730×500 мм |
Вес | 100 кг |