Установки дисковой резки NeonTech серий NDS-4200 и NDS-5200

Полностью автоматизированные установки дисковой резки NeonTech серий NDS-4200 и NDS-5200 предназначены для работы с образцами диаметром до 200 и 300 мм соответственно. Установка представляет собой комплекс, состоящий из модулей резки образцов и их отмывки. Цикл обработки образцов, предусматривающий операции выгрузки образцов из кассеты, совмещения, резки, отмывки и загрузки в кассету, проводится в полностью автоматизированном режиме и не требует вмешательства оператора. Массивное гранитное основание, прецизионный рабочий стол и высокая скорость оборотов шпинделя повышенной мощности (2,4 кВт) позволяют быстро и точно резать большое количество различных материалов, таких как кремний и ряд других полупроводников, керамика, BGA, LED, PCB и прочие материалы.

Типичные применения:

керамика 60×48 мм;
полупроводниковые пластины до 300 мм;
печатные платы;
корпуса;
R&D и исследования.

Параметр		Значение
		NDS-4200	NDS-5200
Максимальный размер подложки		Ø8”(Ø200мм)	Ø12”(Ø300 мм)
Совмещение		Автоматическое
Загрузка/выгрузка		Автоматическая, из кассеты в кассету
Отмывка после резки		Автоматическая (встроенный модуль)
Шпиндель	Скорость вращения	5 000 — 60 000 об/мин
	Мощность	2,4 кВт
Ось X	Ход	400 мм	500 мм
	Длина реза	0,01–210 мм	0,01–310 мм
	Скорость реза	0,01–400 мм/с
	Минимальный шаг	1 мкм
Ось Y	Ход	250 мм	350 мм
	Диапазон перемещения	0,0001–210 мм	0,0001–310 мм
	Скорость перемещения	200 мм/с
	Минимальный шаг	0,1 мкм
Ось Z	Ход	40 мм
	Минимальный шаг	0,1 мкм
Ось T	Угол поворота	380°
	Разрешение по углу	0,000176°
Камера		Автофокус
Основные опции		Бесконтактный детектор высоты Детектор сломанного диска
Габариты		1270×1700×1850 мм	1370×1800×1850 мм
Вес		2000 кг	2500 кг