Автоматическая установка Spin process station

Автоматические станции Spin process station производства компании APT (Германия) предназначены для очистки, нанесения/проявления фоторезиста, жидкостного травления подложек диаметром от 50 до 300 мм. Бесшовное исполнение центрифуг из полипропилена (опционально ПТФЭ) позволяет работать со всем видами химических реактивов. В корпус станции Spin process station могут быть встроены различные модули подачи реактивов и газов, включая азот, CO2 и другие. Управление станцией осуществляется при помощи контроллера с возможностью автоматической работы по рецептам.

Конфигурации Spin process station для очистки пластин и фотошаблонов, нанесения/проявления фоторезиста, жидкостного травления, lift-off-процессов могут комплектоваться как стандартной оснасткой, так и оснасткой «под заказ». В числе стандартных опций установок Spin process station:

• Подложкодержатель с возможностью перемещения по оси Z.
• Моторизованная крышка центрифуги.
• Роботизированный манипулятор с несколькими соплами для спрей-распыления реактивов (возможно с обеих сторон подложки).
• Сопла для обработки струями высокого давления.
• Подогрев подаваемых реактивов и газов.
• Тефлоновые емкости для реактивов.
• Автоматическая система пополнения емкостей с реактивами.
• Автоматическое смешение реактивов.
• Дополнительные сливные линии.
• Мегазвуковая очистка.