Держатели пластин, ванны и нагреватели для жидкой химии

Компания SPS-Europe представляет оборудование и оснастку, предназначенные для работы с жидкой химией и изготовленные компаниями Silicet (Германия) и Promac (США), а также оборудование собственного производства SPS-Europe (Нидерланды).

Оснастка для операций технохимии
Для того чтобы в процессе жидкостной обработки защитить обратную сторону подложки, используются специальные держатели. Подложка прижимается к уплотнению держателя при помощи вакуума. Уплотнения изготовлены из этиленпропиленового каучука без примесей серы, с пероксидной обработкой. Рамка и крышка держателя сделаны из модифицированного политетрафторэтилена (стекла).
В каталоге продукции представлены держатели для пластин диаметром от 75 до 200 мм. Все держатели могут быть также изготовлены в версии со встроенным электродом для электрохимического травления и осаждения.

Процессные ванны и кассеты для операций технохимии
Кварцевые ванны с возможностью подогрева рабочей жидкости до +180 °С используются для проведения операций с применением агрессивных химических реактивов. Применение кварца делает процесс чистым, так как при этом не возникает реакции с материалом стенок. 
Кроме того, возможен вариант исполнения ванн из политетрафторэтилена (PTFE). Все ванны оборудованы датчиками перелива и перегрева. Для групповой обработки подложек предлагаются кассеты из политетрафторэтилена, вмещающие от 25 до 100 подложек диаметром до 300 мм.

Нагреватели процессных жидкостей
Для нагрева химически активных процессных жидкостей в ваннах используются нагреватели с оболочкой из перфторвинилэтера. Опционально нагреватели могут быть оснащены датчиком перегрева и платиновым проводом заземления, размер и конфигурация определяются по требованиям заказчика.
Для нагрева проточной деионизованной воды применяются нагреватели, позволяющие поддерживать заданную температуру при потоке от 1,5 до 50 л/мин.