Система ультразвукового спрей - нанесения фоторезиста Exacta Coat

Exacta Coat — полностью автоматическая настольная трехосевая система спрей-нанесения покрытий, специально разработанная для нанесения фоторезиста на подложки, в том числе с развитым рельефом (3D-структуры, глубокие колодцы). В данной системе используются уникальные ультразвуковые головки разных типов, которые позволяют подобрать оптимальные параметры технологического процесса.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Рабочая область, мм	до 400х400х100 (в зависимости от выбранного рабочего стола и типа УЗ головки)
Ширина факела нанесения, мм (зависит от типа головки)	2–70
Неравномерность нанесения, %	Лучше ±3
Максимальная масса загружаемого образца, кг	11,4
Управление	ПК на базе Windows
Электропитание	220 В/50 Гц
Сжатый воздух	Сухой, безмасляный, давление 5,5 бар
Габариты (ШхВхГ), мм	950х850х800