г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факс
Apex SLR ICP компании Advanced Vacuum — это современная, универсальная, надежная система плазмохимического травления в индуктивно-связанной плазме, которая идеально подходит для решения широкого спектра технологических задач в области микроэлектроники. Apex SLR — последняя разработка компании Advanced Vacuum, в которой применены промышленные технологии оборудования компании Plasma-Therm. Высокая производительность и низкая стоимость обслуживания установки Apex SLR позволяют использовать ее как для R&D-лабораторий, так и для пилотного производства.
Установка Apex SLR в базовой комплектации оснащена автоматическим вакуумным шлюзом, что позволяет эффективно проводить процесс травления практически всех типов материалов, которые используются на микроэлектронных производствах:
Размер электрода | Для пластин до 200 мм в диаметре |
Загрузка | Поштучная шлюзовая загрузка, автоматический шлюз. Возможна групповая обработка на специальном носителе. |
Температура электрода | Определяется типом процесса. Используется чиллер. Стандартно +5...40 °С, доступны другие варианты |
Материал электрода | Алюминий/керамика. Опционально доступны другие материалы |
Тип прижима | Мягкий механический, охлаждение гелием. Опционально электростатический |
Тип плазмы | Индуктивно-связанная |
ВЧ-генератор | RIE: 600 Вт, 13,56 МГц ICP: 1200 Вт, 2 МГц Опционально 2000 Вт, 2 МГц |
Вакуумная камера | Изготовлена из цельного блока алюминия. Опциональная внешняя система прогрева |
Откачная система | Форвакуумный насос 100 м3/ч, безмасляный Турбомолекулярный насос 450 л/с Возможна установка других насосов по ТЗ заказчика |
Уровень вакуума | <10-6 торр |
Контроль давления процесса | Автоматический |
Газовые линии с цифровыми РРГ | 4 линии (стандартно). Опционально до 20 линий. |
Система контроля, ПО | ПЛК (XP/Windows 7), DeviceNet |
Электропитание | 380 В, 50 Гц, 3 фазы |
Габариты установки (Ш×Г×В) | 685×1388×2063 мм с газовым шкафом на каркасе 685×1388×1250 мм без газового шкафа на каркасе Возможно размещение газового шкафа отдельно от каркаса установки |
Сертификация | CE, SEMI-2, S8 |
Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления