г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсГлавная / Технологическое оборудование для микроэлектроники / Плазменные процессы / Плазмохимическое травление
Плазмохимическое травление
- Установка плазмохимического травления Vision 320 RIE
- Установка плазмохимического травления Vision 322 PE/RIE
- Установка плазмохимического травления Vision 420 RIE
- Установка плазмохимического травления Apex SLR ICP
- Установка плазмохимического травления Versaline RIE
- Установка плазмохимического травления Versaline RIE-ICP
- Установка глубокого травления кремния Versaline DSE
- Установка травления фотошаблонов Mask Etcher
- Установка плазменного разделения пластин на чипы Micro Die Singulator
- Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления