Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического трав...

Характеристика\Модель	Тип загрузки	Область загрузки (диаметр, мм)	Тип плазмы	Травление материалов
Vision 320 RIE	Открытая / Бокс	305	RIE	SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Vision 322 PE/RIE	Открытая / Бокс	305	PE/RIE	SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, Al, Cu, Ti, резисты, полиимиды
Vision 420 RIE	Открытая	406	RIE	SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Apex-SlR-ICP	Шлюз	200	RIE-ICP	GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды
Versaline-RIE	Шлюз/ кассетная/ кластер	200	RIE	SiO2, SiNx, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды
Versaline-RiE-ICP	Шлюз/ кассетная/ кластер	200	RIE-ICP	GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды
Versaline-DSE	Шлюз/ кассетная/ кластер	200	ICP	Глубокое травление кремния