г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсХарактеристика\Модель | Тип загрузки | Область загрузки (диаметр, мм) | Тип плазмы | Травление материалов |
Vision 320 RIE | Открытая / Бокс | 305 | RIE | SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды |
Vision 322 PE/RIE | Открытая / Бокс | 305 | PE/RIE | SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, Al, Cu, Ti, резисты, полиимиды |
Vision 420 RIE | Открытая | 406 | RIE | SiO2, SixNy, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды |
Apex-SlR-ICP | Шлюз | 200 | RIE-ICP | GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды |
Versaline-RIE | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | RIE | SiO2, SiNx, GaAs, GaN, InP, InGaAs, резисты, полиимиды |
Versaline-RiE-ICP | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | RIE-ICP | GaN, GaAs, AlGaP, InP, InGaAs, HgCdTe, SiC, Al2O3, DLC, Si, SiO2, SixNy, Cr, Ti, Al, TiN, TiW, Mo, резисты, полиимиды |
Versaline-DSE | Шлюз/ кассетная/ кластер | 200 | ICP | Глубокое травление кремния |