Установка плазмохимического травления Vision 322 PE/RIE

Vision 322 PE/RIE компании Advanced Vacuum — это компактная, надежная, технологически гибкая и простая в эксплуатации и обслуживании установка изотропного плазменного травления и реактивного ионного травления для R&D-лабораторий и мелкосерийных производств.

Установка Vision 322 PE/RIE позволяет травить следующие виды материалов:

Металлы: алюминий, медь, вольфрам, титан, благородные металлы.
Диэлектрики: оксиды, нитриды;
Полупроводниковые материалы: кремний, германий, материалы группы AIIIBV — GaAs, GaN, InP, InGaAs и другие;
Полимеры: резисты, полиимиды.

Ключевые преимущества установки Vision 322 PE/RIE:

Возможность применения двух методов травления: изотропного плазменного и реактивно-ионного.
Возможность изменения расстояния между газовым душем и электродом.
Большая область загрузки — круглый стол диаметром 305 мм, который позволяет обрабатывать подложки разных форм и размеров.
Равномерность травления по толщине и воспроизводимость результатов от пластины к пластине — лучше ±3%.
В комплекте с установкой поставляется библиотека стандартных технологических процессов, которые гарантируются производителем.
Простой, интуитивно понятный интерфейс.
История аварийный сообщений, контроль рецептов в процессе работы — вывод данных о процессе на дисплей в режиме реального времени.
Программное обеспечение позволяет записывать параметры процессов для дальнейшего анализа.
Многоуровневый доступ пользователей.
Возможность удаленного управления и контроля состояния системы.
Наличие различных вариантов системы отслеживания окончания процесса (OES, OEI, LEPD).
Современная архитектура на основе ПЛК и DeviceNet: безопасная работа, легкая диагностика и минимальное количество проводов.
Простота использования и обслуживания.
Малая занимаемая площадь <0,7 м2.
Возможность установки через стену чистого производственного помещения.
Опциональное оснащение боксом для работы с токсичными и коррозионными газами.
Возможность изготовления опций и оснастки «под заказ».

Основные технические характеристики установки Vision 322 PE/RIE

Размер электрода	12″ (305 мм) в диаметре
Температура электрода	Определяется типом процесса. Используется чиллер. Стандартно +5...45 °С, доступны другие варианты.
Материал электрода	Алюминий/алюминий с графитовым покрытием. Опционально доступны другие материалы
Тип плазмы	Емкостная
ВЧ-генератор	600 Вт, 13,56 МГц
Вакуумная камера	Изготовлена из цельного блока алюминия. Опциональная внешняя система прогрева
Откачная система	Форвакуумный насос 40–100 м3/ч, масляный или безмасляный Турбомолекулярный насос 250–350 л/с с керамическими подшипниками Возможна установка других насосов по ТЗ заказчика
Уровень вакуума	<10-6 торр
Контроль давления процесса	Автоматический
Газовые линии с цифровыми РРГ	4 линии (стандартно). Опционально до 10 линий
Система контроля, ПО	ПЛК (XP/Windows 7), DeviceNet
Электропитание	380 В, 50 Гц, 3 фазы
Габариты установки (Ш×Г×В)	730×934×2147 мм с газовым шкафом на каркасе 730×934×1172 мм без газового шкафа на каркасе Возможно размещение газового шкафа отдельно от каркаса установки
Сертификация	CE, SEMI-2, S8

Основные опции

Система отслеживания окончания процесса:
- Оптическая эмиссионная спектроскопия (OES)
- Оптическая эмиссионная интерферометрия (OEI)
- Лазерная интерферометрия (LEPD)
Сухой форвакуумный насос,
ТМН на магнитном подвесе,
Дополнительные газовые линии (до 10 в сумме),
Расширение температурного интервала электрода (например, –25...+60 С, либо диапазон на заказ),
Перчаточный бокс,
Специальные держатели образцов,
Нагреватели вакуумной камеры и вакуумного тракта,
Удаленный мониторинг состояния системы SECS/GEM,
Пакет для установки через стенку ЧПП,
Размещение газового шкафа отдельно от каркаса установки,
Расширенная гарантия производителя,
Специальные опции под заказ

Различные варианты размещения подложек для установки Vision 322 PE/RIE

Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического травления