г.Екатеринбург, ул.Волгоградская, д.193, оф.310
+7(343) 381-88-69 (343) 382-01-32
тел/факсГлавная / Технологическое оборудование для микроэлектроники / Плазменные процессы / Плазмохимическое осаждение
Плазмохимическое осаждение
- Установка плазмохимического осаждения Vision 310 PECVD
- Установка плазмохимического осаждения Vision 410 PECVD
- Установка низкотемпературного плазмохимического осаждения Apex SLR HDPCVD
- Установка плазмохимического осаждения Versaline PECVD
- Установка низкотемпературного плазмохимического осаждения Versaline HDPCVD
- Установка плазмохимического осаждения LAPECVD
- Сравнительная таблица основных характеристик установок плазмохимического осаждения